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製備級製程設備整合服務-H2/CO氣體供應系統

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■ 最高工作壓力：100bar
■ 整合式操作面板，方便操作人員直覺操作及人員訓練。
■ 壓力容器委由國內具壓力容器型式檢查合格之製造廠製造，方便後續竣工檢查申請。
■ 配管採用Swagelok卡套式接頭，並依據原廠施工方式進行施作。
■ 氣體來源為鋼瓶，藉由調壓及質量流量計控制混和氣體比例，經增壓泵增壓至製程所需壓力，確保鋼瓶氣源可使用至低壓狀態。

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